Keithley – ACS 2600 RTM - Дополнительная опция программного пакета ACS

Системы тестирования на уровне пластины позволяют выполнить прогноз срока службы от двух до пяти раз быстрее, чем традиционные решения для такого вида испытаний. Программный пакет ACS служит эффективным инструментом задания последовательностей нагрузок и измерений и имеет интерактивный интерфейс для испытания устройств на надежность (инжекция горячих носителей (HCI), температурная нестабильность при смещении (BTI) и др.), для определения целостности оксидного слоя затвора (зависящий от времени пробой диэлектрика (TDDB), JRAMP, VRAMP и др.) и контроля металлических соединений (EM).

Гибкость формирования тестовых последовательностей позволяет проводить предварительные и выходные испытания, а также промежуточное нагрузочное тестирование и мониторинг под нагрузкой. Встроенная программа для расчетов Formulator совместно со стандартными средствами параметрической обработки позволяет легко анализировать данные, пользуясь интерфейсом «укажи и выбери».

Архитектура системы, содержащей несколько аппаратов серии 2600, позволяет программному пакету ACS включать источники-измерители в совместную работу либо в составе большой точно координированной группы, либо в составе нескольких меньших групп, одновременно функционирующих для параллельного тестирования нескольких устройств. Встроенные процессоры и виртуальные соединения источников-измерителей серии 2600, обладающих лучшей в своем классе скоростью измерений, обеспечивают точную синхронизацию источников и измерителей, которая чрезвычайно важна для регистрации параметров быстропротекающих пробоев.

ACS-2600-RTM содержит широкий диапазон средств анализа данных и построения графиков, таких как приведенный на рисунке график результатов тестирования времени жизни инжектированных горячих носителей Вейбуллы. Также возможно построение линейно-логарифмических, дважды логарифмических и других типов графиков. Встроенный инструмент построения графиков позволяет создавать пользовательские графики. Функция картирования пластины позволяет приписать цвета результатам тестирования для устройств, расположенных на полупроводниковой пластине, что позволяет легко и быстро обнаружить влияние дефектов обработки.

Области применения

Испытания устройств на надежность:
– инжекция горячих носителей (HCI);
– температурная нестабильность при отрицательном смещении (NBTI);
– температурная нестабильность при положительном смещении (PBTI).

Целостность оксидного слоя затвора:
– зависящий от времени пробой диэлектрика;
– VRAMP;
– JRAMP.

Металлические соединения:
– изотермический прогрев металлических соединений;
– поликристаллический нагреватель;
– постоянный ток;
– зависящий от времени пробой диэлектрика инжекционных лазерных диодов.

Процедуры тестирования на уровне пластины, соответствующие требованиям JEDEC, например инжекции горячих носителей (HCI), уже встроены в ACS-2600-RTM. На этом экране настройки процедуры тестирования все необходимые параметры объединены в одно диалоговое окно. Однако если требуется изменение этой стандартной процедуры, щелчок мышью на текстовых вкладках дает возможность видоизменить графический интерфейс и приспособить его к конкретным требованиям.

Возможность конфигурирования от 2 до 44 каналов источников-измерителей, содержащих источники тока, напряжения и измерители тока и напряжения.

• Совместимость со всеми широко распространенными установками зондового контроля полупроводниковых пластин.
• Поддержка как последовательного, так и параллельного тестирования.
• Предусмотрена возможность использования на нескольких участках.
• Обширный набор тестов в соответствии с требованиями JEDEC.
• Построение графиков и картирование полупроводниковых пластин в режиме реального времени.